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氣體質(zhì)量流量控制器怎么來(lái)控制液氮的流量呢？液氮是指液態(tài)的氮?dú)?。液氮是惰性，無(wú)色，無(wú)臭，無(wú)腐蝕性，不可燃，溫度極低的液體，汽化時(shí)大量吸熱接觸造成凍傷。在工業(yè)中，液態(tài)氮是由空氣分餾而得，將空氣凈化后，在加壓、冷卻的環(huán)境下液化，借由空氣中各組分之沸點(diǎn)不同加以分離。
氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器是在20℃，1個(gè)大氣壓條件下標(biāo)定的，主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比。
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